組合型ICP光柵光譜儀

組合型ICP光柵光譜儀種類繁多，有多通道型與單一掃描型的光譜儀組合型的光譜儀（稱N＋1型）。有多通道型與掃描型的光譜儀組合型的光譜儀（N＋M型），見圖1。 

圖1 組合型N＋M光譜儀

這種ICP光柵光譜儀，采用一個ICP光源，一套進樣系統，雙邊通過兩臺分光器進行分光檢測。一邊進入多通道光譜儀，達到快速、穩定檢測。另一邊進入掃描型光譜儀，達到分析靈活、抗光譜干擾能力強、準確測定目的。 

組合型光譜儀的特點

可滿足一些特殊工業廠礦的需要，例如N＋M組合光譜儀，它的多通道第一型部分可用于鋼鐵試樣的常規固定元素測定。而掃描型部分可以做新材質檢測、工廠的環保檢測等，測定元素可變的研究工作測定。還有一種S＋S組合ICP光柵光譜儀，例如：ICPS-8100其分光器由兩個獨立色散系統組成，見圖2。第一分光器，焦距1000mm，波長范圍160～372nm，大面積的光柵，刻劃條數4960gr/mm，分辨率為0.0045m/mm。真空型分光器是商品化儀器中分辨率很高的分光器。第二分光器，焦距1000mm，兩塊光柵：一塊光柵刻線條數4320gr/mm，分辨率為0.0055mm/mm，波長范圍250～426nm；另一塊光柵，刻線條數1800gr/mm，分辨率為0.013nm，波長范圍426～850nm。這兩個分光器可互為內標分光器。測定時，兩個分光器同時運行。每個分光器分別由單獨的CPU控制掃描程序，進行測量信息取數。將得到的信息輸送到另一臺CPU進行處理。當需測定高純的Ni、W、Cr、V、Ti、Mo、Nb、Ta、Zr、Hf及稀土金屬這些發射光譜多譜線的雜質元素時，則需要分辨率極高掃描型與掃描型組合光譜儀，使其分析靈敏度達到所需要求。如果分析元素過多，為加快分析速度，也可另配置一臺小型的內標分光器。

圖2 高分辨率S+S掃描型光譜儀